電噪聲對納米位移臺的分辨率影響非常明顯，它會直接作用在驅動器和反饋傳感器上，使位移臺無法穩定地保持在理論最小步長上。可以從幾個方面理解： 一、對驅動器的影響 納米位移臺常用壓電陶瓷作為驅動元件，它的位移與電壓成正比。如果驅動電源中存在電噪聲，哪怕是毫伏級的波動，也會轉化為納米級甚至亞納米級的位移抖...

分辨率和靈敏度在納米位移臺里是兩個相關但不同的概念： 一、分辨率 分辨率描述的是 位移臺能夠區分的最小位移增量。 它回答的是：這個臺子最小能“走”多小的一步？ 通常由驅動器性能、反饋傳感器精度以及電噪聲水平決定。 舉例：某臺位移臺分辨率為 0.5 nm，意味著它可以區分 0.5 nm 的位置變化。 二、靈敏度 靈敏度描述...

納米位移臺的分辨率會受到溫度變化的顯著影響，這是因為材料的熱膨脹、驅動器性能漂移以及控制系統誤差都會隨溫度改變而影響實際位移。 首先，位移臺的支撐結構和平臺通常由金屬材料制成，這些材料會隨著溫度升高而膨脹，降低溫度時則收縮。即便溫度變化很小，微米級的長度也可能產生納米級的位移漂移，從而影響分辨率。...

納米位移臺的閉環控制 對分辨率提升作用非常顯著，它可以將理論分辨率轉化為實際可用分辨率，同時減少非線性誤差和滯后效應。下面詳細說明： 1. 閉環控制的基本原理 開環控制（Open-loop）：驅動信號直接作用于位移臺，位移大小由輸入電壓或步進決定。 缺點：受非線性、滯后、機械間隙、熱膨脹影響，實際位移可能與理論...

納米位移臺的 線性誤差（即實際位移與理論位移不完全一致）是影響定位精度的重要因素，其來源可以從機械、電氣和控制三個方面分析： 1. 機械結構因素 導軌或滑塊幾何誤差 導軌直線度、平行度、傾斜度等不理想會導致位移偏差。 絲杠或螺桿傳動誤差 螺距誤差、螺桿旋轉軸與導向軸不完全同軸，會引起累積位移誤差。 柔性驅...

納米位移臺的線性誤差校準是提高定位精度的關鍵環節，通常結合 測量（干涉儀或光柵尺）和 閉環補償 來完成。下面整理常用方法與具體步驟： 1. 校準原理 核心思路：測量臺面實際位移與理論位移的差值，構建誤差補償表或函數，在控制系統中進行補償。 校準可分為 靜態校準（慢速步進）和 動態校準（連續運動）兩類。 2. 校...