納米位移臺的閉環(huán)控制 對分辨率提升作用非常顯著，它可以將理論分辨率轉(zhuǎn)化為實際可用分辨率，同時減少非線性誤差和滯后效應(yīng)。下面詳細(xì)說明：
1. 閉環(huán)控制的基本原理
開環(huán)控制（Open-loop）：驅(qū)動信號直接作用于位移臺，位移大小由輸入電壓或步進(jìn)決定。
缺點：受非線性、滯后、機(jī)械間隙、熱膨脹影響，實際位移可能與理論目標(biāo)偏差很大。
閉環(huán)控制（Closed-loop）：在位移臺上加裝傳感器（如電容尺、光柵尺、干涉儀），實時檢測實際位置，將實際位移與目標(biāo)位移比較，通過控制器調(diào)整驅(qū)動信號，補(bǔ)償偏差。
核心：反饋補(bǔ)償 → 實現(xiàn)高精度、高分辨率運動
2. 閉環(huán)控制提升分辨率的機(jī)制
補(bǔ)償非線性與滯后
壓電驅(qū)動臺固有的非線性、遲滯和蠕變會導(dǎo)致步長不均勻。
閉環(huán)反饋通過實時測量實際位移并修正驅(qū)動信號，使最小步長接近理論步長。
減小環(huán)境干擾影響
振動、溫度漂移、摩擦等造成的微小偏移，可被閉環(huán)系統(tǒng)實時修正。
例如，理論步長 1 nm，開環(huán)可能因機(jī)械滯后只能實現(xiàn) 5–10 nm，有閉環(huán)后可接近 1 nm。
提高重復(fù)定位精度
閉環(huán)可保證每次重復(fù)運動到同一位置，避免累積誤差。
這對于需要納米級定位的掃描或加工任務(wù)很重要。