電噪聲對(duì)納米位移臺(tái)的分辨率影響非常明顯，它會(huì)直接作用在驅(qū)動(dòng)器和反饋傳感器上，使位移臺(tái)無(wú)法穩(wěn)定地保持在理論最小步長(zhǎng)上。可以從幾個(gè)方面理解：
一、對(duì)驅(qū)動(dòng)器的影響
納米位移臺(tái)常用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，它的位移與電壓成正比。如果驅(qū)動(dòng)電源中存在電噪聲，哪怕是毫伏級(jí)的波動(dòng)，也會(huì)轉(zhuǎn)化為納米級(jí)甚至亞納米級(jí)的位移抖動(dòng)，導(dǎo)致臺(tái)面無(wú)法靜止在目標(biāo)位置，分辨率被限制。
二、對(duì)傳感器的影響
閉環(huán)控制系統(tǒng)依賴電容尺、光柵尺或干涉儀等高精度傳感器。如果傳感器信號(hào)中夾帶噪聲，反饋信息就會(huì)出現(xiàn)抖動(dòng)，控制器會(huì)不斷修正，結(jié)果表現(xiàn)為位移的微小抖動(dòng)或不穩(wěn)定，實(shí)際分辨率降低。
三、對(duì)控制系統(tǒng)的影響
控制器本身的電子元件也會(huì)產(chǎn)生噪聲，比如運(yùn)算放大器的熱噪聲、模數(shù)轉(zhuǎn)換器的量化噪聲等。如果控制系統(tǒng)信噪比較低，就無(wú)法識(shí)別亞納米級(jí)的有效位移變化，從而限制分辨率。
四、表現(xiàn)形式
在實(shí)驗(yàn)中，電噪聲的影響常表現(xiàn)為：
位移曲線出現(xiàn)抖動(dòng)，無(wú)法穩(wěn)定在某一點(diǎn)
重復(fù)定位不一致
掃描圖像出現(xiàn)條紋或模糊
標(biāo)稱的亞納米分辨率無(wú)法實(shí)際達(dá)到
五、減緩方法
使用低噪聲電源和屏蔽電纜，保證驅(qū)動(dòng)信號(hào)穩(wěn)定
為控制器和傳感器做好電磁屏蔽和接地，避免環(huán)境電磁干擾
在控制系統(tǒng)中增加濾波措施，減少高頻噪聲的影響
將高精度實(shí)驗(yàn)放在低電磁干擾的環(huán)境中，遠(yuǎn)離大功率電機(jī)、開關(guān)電源等噪聲源。