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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)有哪些部分組成?

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)有哪些部分組成?

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)哪些部分組成(PECVD)?很多老師不了解PECVD的組成,下面卓聚科技小編為大家介紹一下。 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),生長樣品腔的管徑60-120mm,它是由高溫管式爐、多路高精度流量控制與供氣系統(tǒng)、機(jī)械泵、真空密封及測(cè)量系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)組成,極限真空度可達(dá) 10^-5 torr 。 ...
什么是位移臺(tái)?位移臺(tái)能干什么?

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什么是位移臺(tái)?位移臺(tái)能干什么?下面小編就給大家講解一下電動(dòng)位移臺(tái)和手動(dòng)位移臺(tái)。 什么是電動(dòng)位移臺(tái)? 電動(dòng)位移臺(tái)因其高精度、快速度、大承載、行程大、自動(dòng)化而廣泛應(yīng)用于科研、激光應(yīng)用、全自動(dòng)計(jì)量檢測(cè)儀器設(shè)備、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域;以及實(shí)現(xiàn)真空、污染、無菌、輻射等環(huán)境下的自動(dòng)位移控制。電動(dòng)位移系統(tǒng)基本由三部分...
國產(chǎn)壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)來了:定位產(chǎn)品

國產(chǎn)壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)來了:定位產(chǎn)品

隨著微電子、納米科技和人工智能等領(lǐng)域的進(jìn)一步發(fā)展,定位不僅在實(shí)驗(yàn)室用途廣泛,工業(yè)界的應(yīng)用也越來越多。 一個(gè)火柴盒大小、外殼包覆金屬的小方塊,通過電壓控制能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)別的位移,可以用于對(duì)精度要求高的科學(xué)實(shí)驗(yàn)、制造和半導(dǎo)體工業(yè)等領(lǐng)域。日前,在松山湖材料實(shí)驗(yàn)室科研設(shè)備產(chǎn)業(yè)化團(tuán)隊(duì)的實(shí)驗(yàn)室內(nèi),團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人許...
低溫AFM助力六方氮化硼氣泡中的氫分離研究

低溫AFM助力六方氮化硼氣泡中的氫分離研究

在原子尺寸容積內(nèi)存儲(chǔ)微量氣體是科研中一項(xiàng)十分有意義的研究。其中,阻隔材料的選擇是影響氣體存儲(chǔ)的重要因素:該材料形成氣泡來包覆存儲(chǔ)的氣體,且在苛刻環(huán)境下保持穩(wěn)定,更重要的是材料本身不能與存儲(chǔ)氣體有任何的化學(xué)或者物理的相互作用。近期,中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所的王浩敏研究員課題組就這項(xiàng)研究...
AI瞬間就能找到二維材料

AI瞬間就能找到二維材料

東京大學(xué)下屬的工業(yè)科學(xué)研究所的研究人員展示了一種新型的人工智能系統(tǒng),該系統(tǒng)可以瞬間找到并標(biāo)記顯微鏡圖像中的二維材料。這項(xiàng)工作可以幫助縮短基于二維材料的電子產(chǎn)品用于消費(fèi)類設(shè)備所需的時(shí)間。 二維材料為創(chuàng)建電子設(shè)備(例如晶體管和發(fā)光二極管)提供了令人興奮的新平臺(tái)。單原子厚的晶體家族包括金屬,半導(dǎo)體和絕緣...
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