產品優勢

快速、準確、穩定

ZP3-4微納探針臺包含4個壓電三軸探針臂，每個三軸配備1個可拆卸式電學探針接口，可在毫米級尺度上進行宏觀運動并實現納米尺度上的微觀運動。

使用場景多樣化

ZP3-4微納探針臺結構緊湊，占用空間小，運動行程大，可匹配各種顯微鏡樣品臺，真空室，光學試驗臺等工作條件。

完善的技術解決方案

Z P 3 – 4 微 納 探 針 臺 與 尼 康 金 相 顯 微 鏡 / SR-Scopel集成形成的探針臺電學測量系統，為宏觀行程上進行的微觀尺度電學及表征測量提供了具體的解決方案。

直觀、方便

ZP3-4微納探針臺通過手柄控制，具有多級宏觀調速，脈沖運動，以及位移微調功能，宏觀運動速度跨度在5um/s~2mm/s，單點脈沖步進可達300nm以下，微調運動分辨率小于1nm，在顯微鏡下操作更直觀，方便，準確。

高度集成

ZP3-4微納探針臺電學測量系統，配備完善的光學顯微鏡模塊，配備亮度調節，增益和變焦等功能，與電腦連接后，可實現圖像快照，尺寸測量和標注，視頻記錄等常規功能。

SEM納米探針臺產品使用壓電陶瓷驅動，運無需潤滑，真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。

三軸探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一SEM腔體內可安裝多個三軸探針臺。平上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現微納操縱和測量的目的。

SEM納米探針臺特點：
結構緊湊，高剛性。
壓電陶瓷位移平臺具有很長的使用壽命。
內部根據需求可增加位置反饋。
應用：納米材料操縱、納米器件電學光電等物性測量、生物細胞DNA操作等。
適配SEM：日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等。

SEM納米探針臺技術參數

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干式液氦溫區探針臺 產品優勢

1.真空腔體：真空度優于6×10^-4Pa。降溫后優于6×10^-5Pa。留有2個用戶法蘭接口（KF40可接入氣體或者額外的電纜）；

2. 探針控制：標配6個探針臂。調節范圍50mm*50mm*30mm，調節精度優于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；

3. 顯微鏡模塊：連續變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：1.4X~9X（使用2X附加物鏡時），視頻放大倍率約700倍?？蛇x2X附加物鏡。分辨率優于2um。全高清數字攝像頭，帶同軸照明和環形照明，帶機械調焦和光學調焦；

4. 變溫樣品臺：50mm直徑。變溫范圍：30K~400K。控溫穩定性優于±0.01K；

5. 可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為光纖；

6. 系統直流漏電低于1pA；

7. 產品含進口分子泵機組、全量程真空規和智能溫控儀。

干式液氦溫區探針臺產品參數

以上就是東莞市卓聚科技有限公司提供的干式液氦溫區探針臺的介紹，

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