壓電旋轉臺-RA-3402A技術參數
壓電旋轉納米位移臺RF-8382A技術參數
該產品使用壓電陶瓷驅動，運動無需潤滑，并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。
三軸探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一個SEM腔體內可安裝多個三軸探針臺。平臺上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現微納操縱和測量的目的。
壓電二維納米位移臺使用壓電陶瓷驅動，運動無需潤滑，并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到亞納米級。步進和掃描雙模式工作，并且在宏觀行程范圍內同樣達到亞納米分辨率的定位。支持開環閉環控制。
詳細情況歡迎您咨詢我們，客服電話：400-966-2800
壓電納米位移臺，納米壓電驅動馬達，使用壓電陶瓷作為運動促動元件 ，可以在數十毫米范圍內實現納米級別的步長，從而解決了傳統 納米臺行程不足，而微米電動臺分辨率和精度不高的問題。
卓聚科技研發團隊自主研發的壓電驅動馬達，具有運動無需潤滑，真空兼容，可在從液氦溫區（-269攝氏度）至室溫的寬溫區內工作等優點。其運動分辨率達到納米級，具有步進和掃描雙工作模式，在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。其主要應用領域有：基礎科研市場，半導體市場，先進制造業，生物醫藥行業，光學、通信等行業。
根據納米位移臺的運動軌跡，我司的位移臺分成三大類型，直線納米位移臺，旋轉納米位移臺，多軸納米位移臺。
請至詳情頁面了解具體性能。
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| 直線納米位移臺 | 旋轉納米位移臺 | 多軸納米位移臺 |
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設備支持真空環境。并且支持定制化的開孔位置，滿足不同的安裝場景。壓電陶瓷的驅動模塊使用，使設備具有360°全行程的高精度定位及高分辨率。
壓電旋轉納米位移臺RF-5950A技術參數
360°行程，及高分辨率和精調步進是該旋轉臺的核心競爭力。
壓電旋轉納米位移臺RF-33A技術參數
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壓電直線納米位移臺 Z軸掃描臺技術參數
壓電直線納米位移臺ML-92A技術參數
壓電直線納米位移臺ML-37A技術參數