采用壓電陶瓷驅動的納米級物鏡掃描臺，內部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導向機構，確保了掃描臺的運動精度。掃描臺內置位移傳感器進行全閉環的位置反饋，定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級。掃描臺為無磁材質，使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。聚焦行程可達100微米。分體的螺紋適配器，可適配多種型號的物鏡。
產品特色

1、聚焦行程為100um,分辨率為4nm。
2、內置高性能的壓電陶瓷。
3、優異的導向精度，適配器使用靈活。
4、開/閉環可供選擇。

產品參數