清理納米位移臺滑軌時需要非常小心，因為滑軌直接影響位移臺的精度和壽命。操作步驟和注意事項如下：
一、準備工作
斷電：確保位移臺及控制器完全斷電，避免意外運動造成損傷。
清潔環境：在無塵或低塵環境下進行，避免灰塵再次污染滑軌。
工具和材料：準備柔軟無絨布、棉簽、專用無水酒精或電子級清潔劑，以及少量適合的潤滑劑或真空脂（如果需要補充）。
二、清理步驟
表面初步清潔
用干凈無絨布輕輕擦拭滑軌表面，去除灰塵和松散顆粒。
深度清潔
用棉簽蘸少量無水酒精或專用清潔劑，沿滑軌方向輕輕擦拭，去除頑固污垢或舊潤滑劑殘留。
注意避免液體滲入電機、傳感器或其他電子部件。
干燥處理
清潔后讓滑軌自然風干或用無塵布擦干，確保沒有殘留清潔液。
重新潤滑
根據廠家說明，涂抹少量適合的潤滑劑或真空脂，沿滑軌均勻分布。
潤滑劑不要過多，避免吸附灰塵或流入傳感器區域。