
納米位移臺位移范圍怎么看
納米位移臺的位移范圍是衡量其最大運動能力的關鍵指標,一般用“最大行程”或“移動范圍”來表示,通常單位為微米(μm)或毫米(mm)。要查看或確定納米位移臺的實際位移范圍,可以從以下幾個方面入手:
1. 查看設備銘牌或技術參數表
最直接的方法是查看廠家提供的技術資料。
在設備銘牌、產品說明書或技術參數表中,通常會標明:
最大行程(Travel Range):例如 100 μm、500 μm 或 10 mm;
驅動類型(如壓電型、步進電機型、線性電機型),不同驅動類型對應不同的位移范圍;
分辨率與重復精度,這些參數可輔助判斷可用范圍的精度程度。
2. 通過控制軟件查看
大多數納米位移臺配套的控制軟件(如廠家提供的 GUI 或 Igor Pro 控制模塊)都會顯示當前位置與移動限制。
在軟件界面上可直接讀取當前位移值;
某些控制器可設置“軟限位”,防止超程;
若顯示的最大值與說明書不符,可能存在軟件限制或未校準問題。
3. 查閱驅動信號范圍
對于壓電驅動型位移臺,位移量與施加電壓通常成近似線性關系。
例如:驅動電壓范圍為 0–100 V,對應位移范圍 0–100 μm。
4. 實驗測量驗證
可通過干涉儀、激光位移傳感器或高精度編碼器對位移進行實際測量,驗證廠商參數的準確性。
這在科研或高精度實驗中尤為重要。
5. 注意不同方向行程差異
多軸納米位移臺的 X、Y、Z 方向行程可能不同。
例如:X/Y 方向為 200 μm,而 Z 方向只有 20 μm。
在查看參數時要注意區分各軸的標稱范圍。