納米位移臺如果負載過重，會導致運動精度下降、速度降低，甚至可能損壞驅動器或減小使用壽命。處理方法主要有以下幾種：
1. 降低負載
盡量減輕安裝在位移臺上的質量，包括實驗夾具、樣品或探測器。可以使用更輕的材料或者拆除非必要的附加部件。
2. 選擇適配的位移臺型號
每臺納米位移臺都有額定負載范圍，如果現有負載超過推薦值，應考慮更換額定負載更高的型號，以保證運動精度和速度。
3. 調整驅動參數
如果位移臺支持閉環控制，可以適當調整加速度和最大速度，避免因負載過重造成回差或振動。
調整 PID 控制參數，提高系統穩定性，但前提是位移臺本身允許這種調節。
4. 增加支撐或減震
在位移臺下方或負載與位移臺之間增加支撐結構，分擔重量，減少單點受力。還可以通過減震措施降低負載帶來的機械振動影響。
5. 避免長時間滿載運行
長期滿載會加速機械磨損和熱量積累，應盡量在負載接近額定值但不超限的條件下運行，并定期檢查潤滑和精度。