納米位移臺在理論上可以在不同方向設置相同速度，但在實際應用中通常需要考慮以下因素：
1. 機械結構差異
X、Y、Z 方向的導軌、驅動機構可能不同，摩擦力、慣性和剛度不同。
這些差異會導致相同的速度設置下，實際運動響應不完全一致。
2. 閉環控制與傳感器精度
如果是閉環位移臺，速度由控制器根據傳感器反饋調節。
不同方向的傳感器靈敏度或分辨率差異，也可能導致運動速度微小偏差。
3. 負載與運動慣性
臺面上裝載物體的質量和重心分布影響不同方向的加速和減速特性。
Z 方向通常承載重力影響更大，可能需要稍微調整速度以保證平滑運動。
4. 安全與精度要求
高速移動時，慣性和震動更容易放大定位誤差。
不同方向對實驗精度的要求不同，也可能需要設置不同速度。