納米位移臺一般依靠壓電陶瓷驅動器或精密電機實現運動，其單次行程往往受到材料變形量、驅動電壓和結構設計的限制，通常在微米到毫米級范圍。如果要實現超長行程移動，可以采用以下幾種方法：
步進掃描（步進位移臺）：利用壓電陶瓷的“爬行驅動”方式（stick-slip 或 inertial drive），通過連續的小步位移疊加，實現厘米甚至更長的位移范圍。
復合驅動結構：將壓電驅動與電機、絲杠、導軌等組合。電機實現大范圍移動，壓電元件負責微調和高精度定位，既兼顧長行程又保留納米分辨率。
直線電機驅動：使用精密直線電機與光柵尺反饋，能實現幾十毫米甚至上百毫米的運動，同時保持較高精度。
多級傳遞機構：通過齒輪、杠桿或柔性放大機構，將有限的壓電位移放大到更長的行程，但這種方式可能會犧牲一定的剛性和分辨率。
閉環反饋控制：在超長行程下，誤差容易累積，因此需要結合電容傳感器、光學編碼器或干涉儀等反饋系統來保持精度。
一般實驗室里，如果你既要超長行程又要納米精度，常用的方案是電機+壓電復合驅動，大范圍由電機移動，精細調整由壓電完成。