納米位移臺的精度非常高（達到納米甚至亞納米級），因此在使用過程中如果出現誤操作，不僅會導致數據不準確，還可能損壞設備。避免誤操作可以從以下幾個方面著手：
1. 操作前準備
確認負載：確保樣品或工件的重量不超過額定負載。
環境檢查：避免在強震動、強電磁干擾或溫度波動較大的環境下使用。
初始化：開機后先執行歸零或校準，確保位移臺在可控范圍內。
2. 軟件與控制設置
限制行程：在控制軟件中設置運動范圍上限，防止過沖。
速度控制：避免一開始就設定過高速度，先用低速調試，確認正常后再提高。
路徑規劃：在執行復雜掃描或重復運動時，提前規劃好軌跡，避免隨意操作。
閉環模式：優先使用閉環控制（有傳感器反饋），減少滯后和累計誤差。
3. 操作過程
避免手動強行推動：不要用手或外力去推位移臺，否則會損壞驅動機構。