納米位移臺在掃描電鏡（SEM）中是實現(xiàn)高精度樣品定位和掃描的關(guān)鍵部件，它的用途主要包括以下幾個方面：
1. 準確定位樣品
SEM 中需要將樣品的特定區(qū)域?qū)孰娮邮?，納米位移臺可以在 X、Y、Z 方向進行 納米級或亞微米級移動。
有助于重復觀察同一位置，或者在不同放大倍數(shù)下對準目標。
2. 高分辨率掃描
對于納米尺度的樣品結(jié)構(gòu)，電子束掃描需要非常平穩(wěn)且可控的位移。
納米位移臺可以精確控制掃描步長，保證成像清晰且無漂移。
3. 多點/多區(qū)域自動掃描
可編程的多軸位移允許 SEM 自動在多個預定點進行成像或分析。
方便做 多點 EDS（能譜分析）、EBSD（電子背散射衍射） 等實驗。
4. 三維成像與傾斜觀察
SEM 有時需要傾斜樣品觀察表面形貌，納米位移臺可以準確控制傾斜角度和 Z 軸高度。
有助于 三維重構(gòu)、表面粗糙度分析 等應用。
5. 減少人為誤差和操作疲勞
通過程序控制位移臺，可以自動執(zhí)行重復掃描或測量，減少手動操作的不穩(wěn)定性。