清潔納米位移臺表面時，須謹慎操作，以避免損傷結構、污染傳感器、影響運動性能。正確的清潔方法可以延長設備使用壽命并保持其高精度性能。以下是安全、有效的清潔步驟和注意事項：
一、清潔步驟
1. 關閉電源并斷開控制連接
確保位移臺停止，斷開電源和信號線；
防止靜電或意外運動造成傷害或設備損壞。
2. 準備清潔工具與材料
無塵擦拭布（或鏡頭紙）；
醫用棉簽（低掉毛型）；
弱揮發性清潔劑，如：
無水乙醇；
異丙醇（IPA）；
電子級清洗液；
防靜電手套或指套；
吹塵球（非壓縮氣罐）用于吹走灰塵。
3. 表面清潔
用吹塵球或干凈無塵布輕輕拂去表面灰塵；
對有油跡、指紋或輕微污染部位：
將少量異丙醇或乙醇滴在無塵布或棉簽上；
輕柔地擦拭表面，避免滲入導軌或縫隙；
不可直接往位移臺上噴灑清洗液。
4. 邊角區域處理
使用沾取酒精的棉簽順著縫隙清潔滑軌邊緣，注意不要用力插入縫內；
若有導軌保護蓋或防塵條，可適度掀開輕拭其邊緣。
5. 干燥與恢復
用干棉簽或布再次擦拭，確保無殘留液體；
完全干燥后再通電使用。
二、注意事項
清潔時要注意：
避免溶液滲入運動機構內部；
不要使用含腐蝕性或揮發殘留物的溶劑（如丙酮、汽油、稀釋劑）；
不要用金屬物體刮擦表面，防止劃傷；
清潔時手不要直接接觸關鍵面，以防留下油污或靜電；
不要強行擦拭電纜接口、傳感器窗口等區域。
? 若設備用于潔凈室或真空環境：
應使用電子級、低揮發殘留的清洗劑；
符合低粒子釋放和不帶靜電標準的擦拭材料。