納米位移臺在同一位置重復移動時通常會存在微小誤差，這類誤差被稱為重復定位誤差。雖然高性能位移臺的重復精度可以達到納米級甚至亞納米級，但在實際應用中，仍可能出現輕微偏差。下面是詳細解釋：
一、為什么會有重復移動誤差？
1. 機械結構與驅動滯后
壓電陶瓷、柔性鉸鏈、滑軌等部件存在一定彈性或非線性；
同一位置反復往返時，存在微小的機械回跳、彈性形變或磨擦滯后。
2. 溫度變化引起熱漂移
連續移動或長時間使用導致平臺升溫，結構微膨脹；
熱漂移會讓重復位置偏移幾個納米甚至更多。
3. 控制系統精度有限
控制器的分辨率、數字量化誤差、閉環傳感器精度等都會影響最終的重復定位；
開環控制比閉環控制更容易產生誤差。
4. 負載變化影響
樣品或夾具重量改變，會影響平臺的運動響應，造成誤差；
特別是在高速加減速過程中，慣性差異會加劇偏移。
5. 靜電或外界干擾
高靈敏度系統可能受到靜電、振動、地磁等干擾，影響定位。
二、重復定位誤差的常見表現
同一目標位置反復返回時，位置略有偏移（比如 ±2 nm、±5 nm 范圍內）；
誤差呈方向性：從左向右移動 vs 從右向左移動返回，可能存在偏差；
誤差累積：在長時間操作或多次重復定位中出現輕微累積。
三、如何減少或優化這種誤差？
使用閉環控制系統
閉環系統配有位置反饋（如電容傳感器），能大幅提升重復精度。
預熱平臺至熱穩態
預熱 30–60 分鐘，使平臺達到穩定溫度，減少熱漂移。
設置合理的運動參數
降低加速度、優化加減速曲線，避免平臺抖動或沖擊。
保持負載恒定
避免在每次操作中更換或偏移樣品重量。
增加等待時間
到達目標位置后延時 0.5–2 秒，待平臺靜穩再進行操作或采圖。
環境控制
保持室溫恒定，避免振動、電磁干擾，使用防靜電地墊。