當納米位移臺移動太快導致偏移時，說明系統的速度設置超出了平臺的穩定控制范圍，可能引發超調、振動、漂移或定位誤差等問題。針對這種情況，你可以從以下幾個方面進行調整和優化：
一、降低移動速度和加速度
1. 適當降低運動速度（Velocity）
在控制軟件中將速度參數調低，例如從 2 mm/s 降為 0.5 mm/s；
不同品牌控制器（如 PI、Aerotech、Newport 等）都有速度設置選項。
2. 減小加速度和減速度（Acceleration / Deceleration）
快速啟動或停止會導致機械慣性偏移；
減小加減速斜率，可顯著提升定位穩定性；
尤其在頻繁啟動/停止掃描中效果明顯。
二、啟用閉環控制（如有）
如果你的平臺支持閉環控制（Closed-Loop Control），建議打開；
閉環系統通過反饋傳感器（如電容傳感器）實時修正誤差，防止偏移；
若當前使用的是開環模式，可聯系廠商切換為閉環或調整 PID 參數。
三、優化控制器參數（PID 調整）
速度過快時，PID 控制器可能無法及時響應，導致超調；
可嘗試：
減小 P（比例）增益，避免響應過激；
增加 D（微分）增益，提高阻尼；
適當調整 I（積分）參數，消除殘余誤差但防止積分飽和。
四、檢查負載和摩擦
負載過重或分布不均會加劇偏移；
導軌或平臺潤滑不足、污染或松動也可能導致運動不穩定；
檢查平臺機械部分是否存在“死區”或“間隙”。
五、避免突變式運動命令
使用平滑插值的路徑規劃（如 S 曲線）代替階躍式移動；
尤其是在精密定位或掃描應用中，更應避免“跳躍式”移動指令。