要檢查納米位移臺是否出現“微粘滯”（stick-slip 或 creep）現象，可以從位移響應、重復性測試、波形分析等方面入手，系統(tǒng)地判斷臺體是否存在細微而異常的“卡頓”或“滯后”行為。以下是詳細方法：
一、什么是“微粘滯”現象？
“微粘滯”是一種在納米級運動中常見的非線性效應，表現為：
微小移動時出現突然跳動；
反向運動初期有輕微卡頓，需一定力后才“滑動”；
低速掃描或微步進時運動不連續(xù)或帶抖動；
與摩擦、材料彈性和壓電驅動方式有關。
二、常用檢查方法
1. 小步進測試（step response）
在閉環(huán)控制模式下，讓位移臺以極小的步長（如 1~10 nm）緩慢移動；
觀察傳感器反饋是否連續(xù)線性；
若有“停一停再跳一跳”的現象，即為典型微粘滯表現。
2. 正反向往返測試（hysteresis check）
設定一段往返運動軌跡（如 0–1000 nm 往返）；
記錄實際位置曲線；
若軌跡在正、反方向不重合，或出現反向初段“遲緩”，則存在粘滯現象。
3. 低速連續(xù)掃描檢查
用掃描模式（如直線掃描）連續(xù)移動臺體；
將反饋信號繪圖；
若看到鋸齒波、小幅跳動、重復波動，即可能是微粘滯。
4. 頻譜分析法
對位置反饋信號做傅里葉變換（FFT）；
如果出現異常的低頻或突出的高頻尖峰，可能是由 stick-slip 引起的周期性微小跳動。
5. 顯微成像法（如掃描電鏡或AFM輔助）
若位移臺用于掃描成像（如 SEM、AFM），可在低速掃描圖中觀察到：
圖像有微微“錯行”或局部抖動；
線條邊緣呈波浪狀。