納米位移臺在使用過程中出現“回跳”現象，通常表現為臺體在移動到目標位置后又輕微反向跳動或震蕩，影響定位精度與重復性。這類問題可從以下幾個方面排查與處理：
一、原因分析及應對方法
1. 閉環控制參數不當（伺服控制回路調整不佳）
原因：PID 參數設置不合理，導致控制器對反饋誤差過度修正，引起過沖或震蕩。
處理：進入控制軟件界面，適當降低比例增益（P）或微分增益（D），使系統響應更柔和，抑制震蕩。
2. 機械系統存在間隙或彈性變形
原因：機械結構存在反向間隙（backlash）、材料彈性滯后，導致位移臺在停止前后發生微小機械回彈。
處理：
檢查絲桿、滑臺是否有松動；
使用預緊結構或加裝消隙裝置（如彈簧負載）；
在控制程序中啟用消隙補償功能，通過反向慢速進給消除間隙影響。
3. 驅動器或電機分辨率不足
原因：驅動電流過高、微步設置過低或編碼器分辨率不夠，導致微小位移響應不穩定。
處理：
檢查并提高驅動器細分設置（如由 16 微步改為 32 或更高）；
選用分辨率更高的編碼器；
降低電機電流以減少震蕩。
4. 負載變化或臺體剛性不足
原因：負載重心偏移或質量過大，導致系統慣性大，停止時不易快速穩定。
處理：
盡量保持負載對稱，貼近臺體中心；
若結構剛性不足，建議更換更高剛性的位移臺型號。
5. 程序控制邏輯問題
原因：控制程序執行邏輯在運動結束前反復發出位置指令，導致反復調整。
處理：
優化程序中位移完成判斷邏輯；
增加“位置到達”確認延時，等待系統穩定后再執行下一步操作。