避免納米位移臺的機械磨損，關鍵在于合理使用和維護。以下是常見且有效的預防措施：
選擇合適的驅動方式
壓電驅動器摩擦少，適合減少機械磨損；
避免使用步進電機等摩擦接觸較多的結構，除非設計良好。
合理負載
不要超過納米位移臺額定載荷，超載會加劇機械部件磨損和失效。
避免過度沖擊和超行程
運動過程中避免急停急起，減小沖擊力；
嚴格限制運動范圍，防止撞擊機械限位或碰撞。
保持潤滑良好
對含機械滑動部件的位移臺，定期檢查潤滑油脂狀況，按廠家建議補充或更換；
選擇低粘度、非污染性的潤滑劑。
清潔環境
盡量在潔凈環境下操作，防止塵埃顆粒進入機械部件，導致磨損加劇；
避免水汽或腐蝕性氣體環境。
避免長時間高頻率連續運動
適當設置工作周期，避免零部件疲勞損耗過快。
正確布線，防止線纜牽拉導致機械應力
防止外力傳遞給位移臺機構，避免機械變形。
定期維護和檢查
定期檢測機械精度和運動狀態，及時排查異常磨損或松動部件。
采用無接觸或非摩擦設計
若條件允許，選用磁懸浮或空氣軸承類型，減少機械磨損。