判斷納米位移臺是否達到預定位置，關鍵在于使用反饋機制對實際位置進行檢測和確認。以下是常用的方法和步驟：
1. 查看閉環反饋信號（若為閉環系統）
如果納米位移臺是閉環控制（帶位移傳感器），通常配備電容式、應變式、光學或干涉型傳感器，可通過以下方式判斷：
讀取當前位置值：控制器會實時返回實際位置（如0.001 μm 分辨率）。
比較目標位置和實際位置：若二者的誤差在系統允許范圍（例如 ±1 nm 或 ±0.01 μm）內，即認為已到達目標位置。
監測穩定時間：位移臺可能在接近目標后仍會有微小抖動，通過設定“誤差閾值+持續時間”判斷是否穩定。
2. 檢查控制器狀態標志
大多數控制器（如 PI、Physik Instrumente 或 Mad City Labs 等）會返回一類“Move Complete”或“On Target”標志：
“In Position”狀態為 true 表示已完成定位；
使用 SDK 或 API 可直接讀取標志位，編程中常見為布爾值或狀態碼。
3. 軟件回調或事件響應
在自動化流程中，調用移動命令后等待系統返回“完成”信號；
一些平臺如 MATLAB、LabVIEW、Python 接口中，會提供回調機制或阻塞直到到位。
4. 外部測量確認
如果精度要求高，可使用以下外部方法輔助確認：
干涉儀：實時檢測目標平臺實際位移變化；
攝像頭與圖像識別：監控平臺對準情況或特征點對齊；
激光對準或光斑位置監測：判斷是否移動到預定光學通道。
5. 定時判斷（開環系統）
若使用的是開環系統（沒有反饋），通常只能：
估算運行時間：計算理論所需時間后延時執行下一步；
間接確認位置：如檢查是否觸發限位器或某些光電開關。
不過開環系統不推薦用于高精度位移判斷。