壓電納米位移臺的非線性誤差建模是實現高精度控制的關鍵步驟，其主要目標是準確刻畫壓電致動器在驅動電壓與位移之間的非線性關系（如遲滯、蠕變、熱漂移等）。以下是常見的非線性誤差建模方法，均以文字形式說明，無表格：
1. 遲滯模型（Hysteresis Models）
Preisach模型：經典的遲滯建模方法，使用一系列基本遲滯算子（Relay）疊加表示系統輸出，能精確刻畫開環遲滯行為。適合靜態建模，計算復雜。
Prandtl-Ishlinskii模型：簡化的遲滯模型，計算量較小，適合實時控制和前饋補償。可擴展為逆模型用于補償。
Bouc-Wen模型：一種動力學遲滯模型，可同時考慮動態響應和遲滯非線性，常用于控制系統仿真。
2. 蠕變建模（Creep Models）
冪律模型（Power Law）：蠕變誤差隨時間變化呈冪律衰減，適合短時動態過程描述。
分數階模型：使用分數階微積分表達蠕變行為，兼具精度和建模靈活性。
3. 組合建模方法
遲滯-蠕變串聯模型：將遲滯與蠕變誤差視作串聯系統（如Prandtl-Ishlinskii與冪律組合），適用于大多數動態控制建模。
神經網絡與機器學習方法：使用BP神經網絡、RBF網絡、支持向量機等自動學習壓電系統的非線性特性，適合處理復雜動態和環境變化。
4. 數據驅動建模方法
查表法（Look-up Table）：通過實驗測量構建輸入-輸出對應關系，適用于重復性強、精度要求高的系統。
系統辨識法：利用實驗輸入輸出數據，通過最小二乘法、遞歸算法等辨識壓電位移臺的動態傳遞函數模型。
5. 熱漂移建模
熱響應模型：如一階低通濾波模型，描述環境溫度或驅動電壓變化導致的緩慢位置漂移。