使用納米位移臺時，為了減少定位誤差，可以從以下幾個方面綜合優化：
1. 提高系統穩定性
安裝防震隔振平臺，有效隔絕環境震動對位移臺的影響。
控制環境溫度和濕度，避免因熱脹冷縮引發漂移和誤差。
2. 優化控制參數
調整PID控制參數，使系統響應更快且無振蕩，提高閉環精度。
使用高分辨率反饋傳感器，如電容式、干涉式或壓電傳感器，實時精確監測位移。
3. 降低機械誤差
選用高剛性結構，減少運動過程中形變量。
優化導軌、驅動機構，避免機械間隙和摩擦引發的微小定位誤差。
4. 減少動態誤差
優化運動軌跡規劃，采用平滑加減速曲線（如S曲線加速），避免激烈加速帶來的慣性偏差。
降低高速運動中的振動，適當減小運動速度，保持運動穩定。
5. 電氣系統優化
使用低噪聲電源和信號線，避免電源干擾導致的控制誤差。
加強電纜管理，避免電纜拉扯對位移臺造成微小機械負荷。
6. 進行誤差補償
軟件誤差補償，建立誤差模型，根據實際偏差實時修正目標位移指令。
溫度漂移補償，通過溫度傳感器實時監測并動態修正因環境變化產生的位移誤差。
7. 定期維護與校準
定期校準反饋傳感器和系統整體，以保證長期精度。
清潔機械部件，防止灰塵、油污造成微小阻滯或運動不均。