納米位移臺的閉環校準是為了確保傳感器反饋值與實際位移高度一致，保證整體定位精度和重復性。整個過程通常包括以下關鍵步驟：
1. 準備工作
確認環境穩定，避免振動、氣流、溫度波動。
預熱設備，使位移臺、傳感器和電子系統達到熱穩定狀態。
連接高精度參考儀器，例如激光干涉儀、納米級位移傳感器（如電容傳感器、位移計）。
2. 測量與采集基準數據
設置初始位置，讓位移臺從一個固定參考點開始移動。
以小步長掃描，比如每步1 nm、10 nm或更小，記錄每個指令位置的反饋信號和參考測量值。
覆蓋整個運動行程，包括正向和反向，識別是否存在滯后或非線性。
3. 誤差分析
繪制指令值 vs 實際位移曲線，觀察是否有線性誤差、非線性誤差或滯后。
計算誤差曲線，比如繪制實際值減去理論指令值后的誤差分布。
4. 建立補償模型
如果主要是線性誤差，可以用簡單線性比例系數修正。
如果存在非線性誤差，可以建立多段線性補償表、多項式擬合曲線或查表補償。
有時需要同時補償正向和反向不同軌跡（抗滯后補償）。
5. 上傳補償數據到控制器
將誤差補償表、校準因子或補償函數寫入到位移臺的控制器或軟件中。
部分控制系統支持自動應用補償；也有需要用戶手動配置的。
6. 校準驗證
重新移動測試，使用同樣的激光干涉儀或標準位移傳感器測量，驗證經過補償后的實際位移與指令值的吻合程度。
如果誤差仍然存在，繼續細化補償表或調整PID參數。