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當前位置:

如何對納米位移臺進行零位校準?

納米位移臺進行零位校準(又稱為“回零”或“原點校準”)是確保其位置測量精度和重復性的關鍵步驟,特別是在進行高精度掃描、定位或對齊任務時。以下是常見的零位校準方法和注意事項:
常用零位校準方法:
1. 使用內建零位傳感器(限位開關)
很多納米位移臺內置原點或限位傳感器。
校準方法:
啟動“回零”指令,控制器會以低速向一個方向移動;
觸發原點開關后停止并設當前位置為零位;
若有需要,系統會再做微調(反向回退再定位)以提高精度。
2. 手動設定當前位移為零
適用于沒有物理原點的系統,或者需要以當前點為參考零點的情況。
校準方法:
在控制軟件或指令行輸入 SetPosition = 0,將當前位置設置為邏輯零點;
常用于相對運動控制中。
3. 使用外部參照標記或干涉儀校準
在高精度應用中,可使用激光干涉儀或光學標志物輔助校準。
方法:
將位移臺移動到干涉儀零差位置;
設置當前位置為系統“零點”;
適用于納米級重復定位任務。
? 校準時的注意事項:
確保無外力或負載干擾,樣品應固定牢靠;
使用閉環控制模式,保證反饋準確;
若平臺具有多軸聯動,各軸應獨立回零,避免互相干擾;
若環境溫度變化較大,應在恒溫條件下校準,以減少漂移;
對于真空或強磁環境下的使用,需使用專用無感或低干擾傳感器進行校準。
以上就是卓聚科技提供的如何對納米位移臺進行零位校準的介紹,更多關于位移臺的問題請咨詢

 

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