可以的自主研發的壓電驅動納米位移臺，使用壓電陶瓷作為運動促動元件，可以在數百毫米范圍內實現亞納米級別的步長。更具有運動無需潤滑，真空兼容，可在從液氦溫區（-269攝氏度）至室溫的寬溫區內工作等優點。具有步進和掃描雙工作模式，在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。
壓電驅動納米位移臺產品優勢
結構緊湊，高剛性。
零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統。
室溫到液氦工作溫度，超高真空兼容。
壓電陶瓷促進器具有超長使用壽命。
帶位移傳感器，提供位置和速度閉環控制。

 

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