要減少納米位移臺的機械磨損，需要從結構設計、使用習慣和潤滑維護幾個方面綜合考慮。

首先，應確保負載在設計范圍內。超重負載會增加滑軌和導向系統的摩擦力，加速磨損，因此使用前應參考廠家的額定負載參數，避免長時間超負荷運行。
其次，要注意潤滑管理。納米位移臺的滑軌、絲桿或直線導軌需要保持適當潤滑，以減少金屬表面的直接摩擦。不同品牌的納米位移臺對潤滑油或真空脂的適應性不同，有些適合硅基油脂，有些適合氟化脂，應使用廠家推薦的潤滑劑，并定期檢查和補充，防止干摩擦導致磨損加劇。
再次，應保持運動平穩，避免急啟急停。頻繁的高速啟動和剎車會產生沖擊力，易造成導軌微裂紋或螺紋絲桿磨損。采用緩慢加速、勻速移動和緩慢減速的方法，可以有效降低機械沖擊，延長使用壽命。
此外，要防止灰塵和顆粒進入導軌。微小顆粒在導軌和滑塊間摩擦會形成微劃痕，長期累積會顯著增加磨損。實驗環境應盡量清潔，必要時可在位移臺表面加防塵罩或使用防塵密封。
不同品牌和型號的納米位移臺機械結構、導軌材質和耐磨性能各不相同，因此磨損速度和防護方法存在差異。在使用前應結合廠家的維護指南，選擇合適的潤滑方式和清潔方法，以最大程度延長位移臺的使用壽命。