為了避免納米位移臺在使用過程中發生碰撞，可以從以下幾個方面采取措施：
首先，設置行程限位。大多數納米位移臺都有機械限位或電子限位開關，應根據實際實驗空間和樣品尺寸設置合理的行程范圍，確保臺面不會超出安全區域。
其次，建立參考點與零位。在每次使用前，將位移臺復位到預定零位或參考點，確保控制器的坐標與實際位置一致，減少因坐標偏差引起的碰撞風險。
第三，控制移動速度。在靠近樣品或其他設備時，應降低臺面移動速度，以便在出現偏差或誤操作時有足夠時間停止，避免碰撞產生損傷。
第四，使用軟件保護功能。很多控制軟件支持設置虛擬邊界或碰撞保護區域，臺面達到邊界時自動停止或報警，這可以有效防止誤操作導致的碰撞。
第五，提前規劃運動路徑。對于多軸或復雜實驗，先在軟件中模擬運動軌跡，避免在移動過程中與樣品支架、探針或其他裝置發生干涉。
不同型號和品牌的納米位移臺在限位方式、加速度控制和保護功能上存在差異，因此在操作前應熟悉設備說明書和軟件設置，結合具體臺型選擇合適的防碰撞措施，以保障臺體和樣品安全。