納米位移臺在傾斜安裝時會對其性能和精度產生一定影響，因此需要在設計和使用中謹慎考慮。一般來說，納米位移臺是為水平安裝優化的，當安裝角度發生變化時，會引入重力分量、摩擦變化以及結構受力偏差等問題。以下是主要影響與建議：
一、運動精度下降
傾斜安裝會使重力分量作用于驅動方向，尤其在垂直或大角度傾斜時，重力會對位移臺的驅動元件（如壓電陶瓷、步進機構或導軌系統）產生額外負載。結果可能導致：
微小位移不再線性響應；
上升運動比下降運動慢，出現非對稱運動；
控制反饋系統（如閉環傳感器）補償壓力增大，精度略有下降。
二、回程誤差與摩擦增大
傾斜時，滑軌與導向部件受力不均，摩擦力增大或變化不穩定，容易導致回程誤差增加，特別在低速掃描或小步進定位中表現明顯。
三、負載能力受限
如果位移臺不是為垂直或傾斜工作設計，其額定負載在傾斜安裝下會減小。部分重力作用在驅動方向上，可能造成位移臺下滑或持續偏移，從而影響長期穩定性。
四、振動與穩定性問題
傾斜安裝會使系統重心偏移，容易產生微小振動，尤其在動態掃描、快速響應時，這種偏移會放大震動或共振現象，影響重復定位精度。