
納米位移臺(tái)位移范圍怎么看
納米位移臺(tái)的位移范圍是衡量其最大運(yùn)動(dòng)能力的關(guān)鍵指標(biāo),一般用“最大行程”或“移動(dòng)范圍”來表示,通常單位為微米(μm)或毫米(mm)。要查看或確定納米位移臺(tái)的實(shí)際位移范圍,可以從以下幾個(gè)方面入手:
1. 查看設(shè)備銘牌或技術(shù)參數(shù)表
最直接的方法是查看廠家提供的技術(shù)資料。
在設(shè)備銘牌、產(chǎn)品說明書或技術(shù)參數(shù)表中,通常會(huì)標(biāo)明:
最大行程(Travel Range):例如 100 μm、500 μm 或 10 mm;
驅(qū)動(dòng)類型(如壓電型、步進(jìn)電機(jī)型、線性電機(jī)型),不同驅(qū)動(dòng)類型對(duì)應(yīng)不同的位移范圍;
分辨率與重復(fù)精度,這些參數(shù)可輔助判斷可用范圍的精度程度。
2. 通過控制軟件查看
大多數(shù)納米位移臺(tái)配套的控制軟件(如廠家提供的 GUI 或 Igor Pro 控制模塊)都會(huì)顯示當(dāng)前位置與移動(dòng)限制。
在軟件界面上可直接讀取當(dāng)前位移值;
某些控制器可設(shè)置“軟限位”,防止超程;
若顯示的最大值與說明書不符,可能存在軟件限制或未校準(zhǔn)問題。
3. 查閱驅(qū)動(dòng)信號(hào)范圍
對(duì)于壓電驅(qū)動(dòng)型位移臺(tái),位移量與施加電壓通常成近似線性關(guān)系。
例如:驅(qū)動(dòng)電壓范圍為 0–100 V,對(duì)應(yīng)位移范圍 0–100 μm。
4. 實(shí)驗(yàn)測(cè)量驗(yàn)證
可通過干涉儀、激光位移傳感器或高精度編碼器對(duì)位移進(jìn)行實(shí)際測(cè)量,驗(yàn)證廠商參數(shù)的準(zhǔn)確性。
這在科研或高精度實(shí)驗(yàn)中尤為重要。
5. 注意不同方向行程差異
多軸納米位移臺(tái)的 X、Y、Z 方向行程可能不同。
例如:X/Y 方向?yàn)?200 μm,而 Z 方向只有 20 μm。
在查看參數(shù)時(shí)要注意區(qū)分各軸的標(biāo)稱范圍。