納米位移臺的分辨率會受到溫度變化的顯著影響，這是因為材料的熱膨脹、驅動器性能漂移以及控制系統誤差都會隨溫度改變而影響實際位移。
首先，位移臺的支撐結構和平臺通常由金屬材料制成，這些材料會隨著溫度升高而膨脹，降低溫度時則收縮。即便溫度變化很小，微米級的長度也可能產生納米級的位移漂移，從而影響分辨率。
其次，納米位移臺中常用的壓電驅動器會隨溫度變化出現性能漂移。高溫時壓電材料的驅動效率下降，導致每個步長減小，低溫時可能出現滯后或響應變慢，這都會使理論最小步長與實際位移不一致。
再者，閉環控制系統的傳感器如電容尺或光柵尺也會受到溫度影響，傳感器自身的熱膨脹或者電特性漂移，會導致位移反饋不準確，從而降低實際分辨率。
溫度變化可能帶來的影響包括：在環境溫度緩慢變化時，位移臺整體漂移，重復定位誤差增加；在瞬時溫度波動時，掃描或定位過程中會出現噪聲或抖動，圖像或實驗數據模糊；長期溫度偏差會導致材料應力累積，閉環調節失效或者滯后增大。
為減緩溫度對分辨率的影響，可以采取一些措施：將納米位移臺放在溫度穩定的實驗室或恒溫箱中，啟動前讓設備和樣品充分熱平衡，使用低膨脹系數材料制作關鍵結構，通過閉環控制實時補償微小漂移，避免局部加熱。
總之，溫度變化會通過熱膨脹、驅動器漂移和傳感器誤差綜合影響納米位移臺的實際分辨率，對于亞納米級精密定位來說，溫度控制和熱平衡是保證穩定分辨率的關鍵。