納米位移臺的閉環控制 對分辨率提升作用非常顯著，它可以將理論分辨率轉化為實際可用分辨率，同時減少非線性誤差和滯后效應。下面詳細說明：
1. 閉環控制的基本原理
開環控制（Open-loop）：驅動信號直接作用于位移臺，位移大小由輸入電壓或步進決定。
缺點：受非線性、滯后、機械間隙、熱膨脹影響，實際位移可能與理論目標偏差很大。
閉環控制（Closed-loop）：在位移臺上加裝傳感器（如電容尺、光柵尺、干涉儀），實時檢測實際位置，將實際位移與目標位移比較，通過控制器調整驅動信號，補償偏差。
核心：反饋補償 → 實現高精度、高分辨率運動
2. 閉環控制提升分辨率的機制
補償非線性與滯后
壓電驅動臺固有的非線性、遲滯和蠕變會導致步長不均勻。
閉環反饋通過實時測量實際位移并修正驅動信號，使最小步長接近理論步長。
減小環境干擾影響
振動、溫度漂移、摩擦等造成的微小偏移，可被閉環系統實時修正。
例如，理論步長 1 nm，開環可能因機械滯后只能實現 5–10 nm，有閉環后可接近 1 nm。
提高重復定位精度
閉環可保證每次重復運動到同一位置，避免累積誤差。
這對于需要納米級定位的掃描或加工任務很重要。