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納米位移臺和普通位移臺有什么區別?

納米位移臺與普通位移臺在精度、驅動方式、應用場景等方面有明顯區別,主要體現在以下幾個方面:
1. 定位精度
納米位移臺:精度可達納米級,適合微小位移和高精度定位。
普通位移臺:精度通常為 微米級或更粗,適合一般機械定位或大行程運動。
2. 運動控制方式
納米位移臺:常用 壓電驅動或閉環電機,能夠實現高分辨率、低滯后運動。
普通位移臺:多用螺桿、步進電機或直流電機驅動,精度受機械間隙和摩擦影響較大。
3. 行程范圍
納米位移臺:行程相對較小,一般從幾十微米到幾毫米,強調精度而非距離。
普通位移臺:行程大,從幾毫米到幾十厘米,適合宏觀定位。
4. 反饋與閉環控制
納米位移臺:通常配備傳感器(電容、激光或干涉),可閉環反饋保證重復精度。
普通位移臺:可能沒有精密反饋,或者只有粗略編碼器,重復性差。
5. 應用場景
納米位移臺:掃描探針顯微鏡(AFM)、掃描電鏡(SEM)、光學微操控、納米級對準和微加工。
普通位移臺:機械裝配、光學調節、顯微鏡粗調、一般實驗室位移。

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