很多納米位移臺本來就是為了 真空環境（包括高真空甚至超高真空） 設計的，但能不能直接放進你的真空腔體，要看具體型號和材料。一般需要注意以下幾點：
1. 材料與潤滑方式
真空兼容的位移臺會采用 低放氣率金屬材料（如不銹鋼、鈦、鋁合金），避免塑料或易揮發膠水。
傳統潤滑脂在真空中會揮發或污染，需要選用 干潤滑（石墨膜、MoS? 薄膜等） 或真空兼容的潤滑劑。
2. 驅動方式
壓電納米位移臺（Piezo stage）非常適合真空使用，因為它沒有傳統電機的摩擦副，真空兼容性好。
如果是電機驅動型，要用 真空兼容電機（步進或直流），并確保繞組和絕緣材料不會在真空中放氣。
3. 電纜與接頭
電纜需要用真空兼容絕緣層（如 Kapton 線），而不能用常見的 PVC。
真空穿墻接口須密封良好，避免漏氣。
4. 散熱問題
真空里沒有空氣對流，散熱主要靠 熱傳導和輻射，所以連續大功率運行的驅動器可能過熱。要確保位移臺與腔體壁良好接觸，以便導熱。
5. 清潔與預處理
進入真空腔前要對位移臺進行 清洗和烘烤，減少水汽和有機物放氣。