納米位移臺(tái)在運(yùn)行時(shí)出現(xiàn)噪聲，主要來源有三類：
機(jī)械共振：結(jié)構(gòu)件、支架或安裝面在特定頻率下被激發(fā)。
控制參數(shù)：加速度過大、閉環(huán)帶寬過高或 PID 參數(shù)不合適。
電磁/線纜干擾：驅(qū)動(dòng)線與信號(hào)線耦合、接地不好、電源有噪聲。
避免噪聲的方法可以這樣做：
安裝面要穩(wěn)固：底座緊固，避免懸空或薄弱件共振；必要時(shí)加配重或阻尼材料。
運(yùn)動(dòng)要平順：指令不要太“急”，用 S 曲線軌跡、降低加速度和加加速度。
控制器整定合適：帶寬不要一味開高，遇到明顯的嘯叫時(shí)先降低帶寬，或加陷波濾波。
線纜與電源管理：功率線和傳感線分開走，接地采用單點(diǎn)方式，電源盡量干凈。
環(huán)境控制：避免氣流直吹，減小外部振動(dòng)源的耦合。