要降低納米位移臺的響應延遲，可以從“指令路徑、控制算法、機械結構、傳感與放大器、運動規劃、環境”六條線并行優化。按優先級給你一套可落地的排查與調參清單。
一、先量化“延遲”在哪里
分解延遲預算：通信延遲→控制器循環周期→驅動放大器響應→執行器與機構慣性/摩擦→傳感器帶寬與濾波→軌跡規劃限制。
做兩種測試：小步階和工作幅值步階，記錄上升時間、超調、2%/1%穩態時間。用這些指標指導后續調整。
二、快速收益的設置
提高控制器更新率與數據鏈路：將控制循環頻率調高；優先用實時總線（如 EtherCAT）或直連模擬控制，少走 USB/串口的軟實時路徑。
減小負載與慣量：精簡夾具、降低樣品質量、把重心壓低并靠近驅動中心。
軌跡從梯形改為 S 曲線：有限加加速度能顯著減少激發共振，縮短整定時間。
合理的電流/電壓限制：放寬驅動器電流限幅和電壓上升沿（在安全范圍內），增大初始加速度能力。
關掉不必要的數字濾波：高階低通會帶來群時延，只保留必須的抗混疊或噪聲抑制。
三、閉環控制調優（壓電/電機平臺通用思路）
基礎 PID：在保證穩定裕度前提下適當增大 P 提高剛度；用 D 抑制共振引起的超調；I 只用于消除穩態誤差，量小從優避免相位滯后。
前饋補償：加入速度、加速度前饋（VFF/AFF），讓執行器靠前饋去“追軌跡”，閉環只做誤差微調，能明顯縮短響應時間。
振型抑制：對主固有頻率設置陷波或二自由度控制；必要時做一次頻響辨識再定點下陷波器。
觀測器與濾波：用低延遲狀態觀測器/卡爾曼替代重濾波，既抑噪又少引入相位滯后。
四、執行器與放大器層面
壓電平臺：選用帶高壓放大器高壓擺率/大電流型號；檢查電纜電容與長度，縮短高壓線以降低 RC 延遲。
電機平臺：提高電流環帶寬，合理設定速度環/位置環帶寬配比；避免過細的微步細分導致指令量化限制和電流回響滯后。
傳感器：優先電容/光柵等高帶寬、低噪聲傳感；降低輸出平滑時間常數；校準傳感器零漂并減少過度平均。
五、機械與安裝
提高剛度、降低摩擦：檢查導軌預緊、絲杠/滑塊潤滑狀態，清除微粘滯與間隙。
隔振與共振管理：把平臺安裝在高剛度底座；在已知共振頻率處加阻尼材料或結構加固，避免控制帶寬落在共振附近。
線纜管理：柔性線纜走線短而順，減小隨動阻尼和拉扯力。