在使用納米位移臺進行掃描時，優化掃描路徑是減少系統振動、提升定位精度和圖像質量的關鍵步驟。以下是幾種常用且有效的優化路徑設計方法：
首先，避免使用帶有急劇加速度變化的波形，例如傳統鋸齒波或方波路徑，這類軌跡在方向切換處會造成系統沖擊，引起激發共振和機械抖動。建議改為采用平滑的軌跡設計，例如正弦波、S形曲線（也稱加加速度有限曲線）或多項式平滑路徑，這類曲線能確保加速度變化連續，減小慣性負載引起的振動。
其次，控制路徑切換段的速度和加速度。掃描路徑中如存在往返切換點，應減緩換向點的速度并引入過渡段。例如在掃描一行結束準備回掃時，可以設置一個緩慢減速、短暫停留再緩慢起動的過程。這種“軟切換”比突變更能降低沖擊帶來的振動。
再者，路徑應盡量保持連續性和方向一致性，尤其在二維掃描中，避免每行掃描結束后做快速大角度跳躍（如之字形掃描方式中的突變）?？梢圆捎寐菪龗呙琛⒐螔呙璧冗B貫曲線形式，從而減小運動部件瞬時方向變化引起的非線性響應。
此外，路徑長度和密度也需平衡。如果掃描路徑過密或過長，會導致系統長期處于動態狀態，溫升和累積誤差更容易引起低頻振動。適當控制掃描范圍和分辨率，在不損失所需數據質量的前提下減輕系統負荷，是減少振動的另一思路。
在路徑生成之后，可以使用運動控制軟件進行前饋補償或軌跡預處理。很多高性能控制器支持對路徑做加速度限制、濾波處理，或基于模型的運動前饋補償，有助于抑制高頻振動成分。
總之，優化掃描路徑以減少振動的核心是控制加速度變化、保持路徑連續平滑、限制運動劇烈度，并結合控制器功能實施前饋與濾波處理。這種綜合策略將有效提升納米位移臺在動態掃描過程中的穩定性和重復性。