納米位移臺常見的非線性誤差主要包括以下幾種類型：
1. 滯回誤差（Hysteresis）
表現：當輸入信號增加和減少時，輸出位移路徑不一致，存在遲滯現象。
原因：多由壓電材料的內在性質引起，是典型的路徑依賴型非線性。
2. 蠕變誤差（Creep）
表現：在恒定驅動電壓下，位移隨時間緩慢變化，呈非線性漂移。
原因：壓電材料或機械結構在加載后發生緩慢形變。
3. 非線性驅動響應
表現：位移與驅動電壓不呈線性關系（尤其在壓電元件或磁致伸縮元件中常見）。
原因：致動器材料本身的非線性、電源輸出不穩定等。
4. 熱漂移引起的非線性
表現：系統溫度變化導致位移響應偏移，非線性程度隨時間變化。
原因：熱膨脹、電子元件溫度依賴性、電纜受熱拉伸等。
5. 機械耦合誤差
表現：一個方向運動導致其他方向也發生微小位移。
原因：結構設計中各軸耦合、裝配不對稱、支撐剛性不足。
6. 死區和飽和
表現：在某些輸入電壓范圍內無響應（死區），或超出范圍后響應失效（飽和）。
原因：驅動系統或傳感器的限制、控制器輸出受限等。
這些非線性誤差會影響定位精度、重復性和軌跡跟蹤能力，通常可通過以下方式減小：
應用閉環控制（如配合電容傳感器）；
采用前饋+反饋補償算法；
優化系統材料與結構設計；
加熱控溫、恒溫工作環境。