多軸納米位移臺在實現高精度運動控制時，軸間干擾（也稱為軸間耦合效應）是一個非常關鍵的技術難題。主要表現為：一個軸的運動會對其他軸產生非期望的位移、振動或誤差，尤其在納米級控制中尤為明顯。
一、軸間干擾的主要來源
機械耦合
多軸結構中的平臺、連接件、滑塊等存在微小彈性和間隙，導致一個軸運動時引起其他軸方向的微小形變或偏移。
共用結構剛度不足，剛性傳遞導致耦合振動。
控制信號干擾
控制器中的驅動信號存在串擾，尤其在未采用良好隔離或濾波時。
閉環反饋系統中，一軸反饋誤差可能被誤判為另一軸的問題，導致錯誤響應。
壓電驅動器的耦合特性
壓電陶瓷本身具有橫向耦合效應，一個方向的激勵可能帶來垂直方向的微位移。
二、常用的解決方法
1. 機械解耦設計
結構優化：采用交叉滾子導軌、柔性鉸鏈等方式，提升方向剛性，減少運動傳遞。
分層結構：將多軸平臺設計成分層結構，每個軸只負責一個方向的獨立位移，物理隔離其余自由度。
2. 主動解耦控制
前饋補償：在控制算法中加入對耦合項的補償模型，預估某一軸動作對其他軸的影響，并提前修正。
多變量耦合控制器（MIMO）：使用模型預測控制（MPC）或狀態空間控制對多軸行為進行聯合優化。
自適應控制算法：系統運行過程中根據實際反饋實時調整控制參數以動態解耦。
3. 傳感器獨立化與冗余
每軸獨立反饋回路：確保每個軸擁有單獨的高精度傳感器反饋系統。
交叉校準：多傳感器冗余部署，實現軸間誤差檢測與修正。
4. 電子與信號隔離
使用光隔離、差分驅動方式和獨立屏蔽層，減少控制信號和驅動信號之間的電磁干擾。
5. 固件與軟件補償機制
在軟件層面對多軸控制邏輯進行優化，例如限定某些動作的同時執行條件，防止耦合共振。
三、實踐建議
在調試過程中使用交叉響應測試：如對 X 軸輸入階躍信號，檢測 Y、Z 軸響應幅度，判斷耦合強度。
采用耦合矩陣建模法：建立一個輸入-輸出耦合系數矩陣，通過矩陣反解進行補償。
高頻動態測試：在真實掃描速率下驗證耦合行為，確保系統穩定可靠。