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納米位移臺的驅動信號如何產生和控制?

納米位移臺的驅動信號通常由高精度控制系統生成,并通過閉環反饋或開環控制方式進行調節。以下是主要的驅動信號產生和控制方式:
1. 驅動信號的產生
納米位移臺通常由壓電陶瓷驅動器或電磁驅動器控制,其驅動信號通常為模擬電壓信號或脈沖信號。
壓電驅動(Piezoelectric Actuation):
需要高壓(幾十至幾百伏)驅動電壓,通常由**數字信號轉換成模擬信號(DAC)后,通過高壓放大器輸出。
典型信號:正弦波、鋸齒波、階躍信號,用于不同運動模式。
電磁驅動(Voice Coil, Lorentz Force):
通過電流信號控制線圈產生磁場,實現位移。
適用于較長行程的納米位移臺,響應速度快。
熱驅動、靜電驅動等:
依靠熱膨脹或靜電力控制,但較少用于高精度納米位移。
2. 驅動信號的控制方式
(1)開環控制
直接施加驅動電壓,通過已知的驅動-位移關系(如壓電材料的電壓-位移曲線)來控制位置。
優點:結構簡單,響應快,無需反饋傳感器。
缺點:存在非線性效應、遲滯、漂移,精度受限。
(2)閉環控制
使用位置傳感器(如電容式、光學干涉、激光測距)提供反饋,動態調整驅動信號以達到精確位移。
常用控制策略: PID 控制(比例-積分-微分):常見,適用于大多數納米位移臺。
前饋+反饋控制:結合模型預測,提高動態響應。
自適應控制:適應不同工作環境,減少漂移和滯后。
3. 典型控制系統結構
控制器(PC/嵌入式系統) → 計算目標位移
數模轉換(DAC) → 生成驅動電壓
高壓放大器 → 放大信號驅動納米位移臺
位置傳感器(用于閉環控制)→ 反饋位置數據
控制算法(如 PID)→ 計算修正信號
4. 關鍵優化點
信號濾波:減少噪聲,提高控制精度。
非線性補償:如遲滯補償,提高系統穩定性。
高頻響應:提升動態性能,減少滯后誤差。
以上就是卓聚科技提供的納米位移臺的驅動信號如何產生和控制的介紹,更多關于位移臺的問題請咨詢

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